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              产品详情
              • 产品名称:台阶测量仪

              • 产品型号:
              • 产品厂商:其它品牌
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              简单介绍:
              薄膜台阶形貌、粗糙度、波纹度。
              详情介绍:

              测量范围


              导轨直线度:≤0.05μm/10mm(λ=0.25mm)
              采数间隔:0.05μm
              传感器线性精度:0.1μm+0.2% f.s
              传感器量程/分辨率比:1:262144
              辅助电子摄像单元:30万像素
              载物台X、Y向定位精度:0.02mm
              传感器Z向移动定位精度:0.02mm
              如需更多详细产品信息,请与我们联系!

              仪器特点


              采用气浮隔振机台隔离环境振动对测量的影响。
              测力控制单元采用音圈电机实时控制以保证轻测量力。
              测量时用罩壳隔离空气流动对测量的影响。
              采用电子摄像单元辅助测量调整及测量过程控制。
              配置多维电动载物台对零件测量部位进行测量。

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